[实用新型]一种单晶硅炉

摘要

本实用新型公布了一种单晶硅炉，包括下炉体和上炉盖，上炉盖设有提拉组件，下炉体设有导流筒；下炉体内有内腔，内腔内设有坩埚，坩埚中部内凹，内凹处设有石墨加热器，石墨加热器底部设有支撑杆，支撑杆固定于下炉体上，支撑杆套设有十字套管，十字套管上连有齿轮部件，连接杆连接于十字套管；安装座上设置有驱动电机，驱动电机与齿轮部件通过驱动齿条连接；安装座的底部设置有气缸；上炉盖的中部设有加料仓，加料仓上设置旋转电机，旋转电机的输出轴上设有破碎辊，加料仓内壁上安装有压辊。提供一种单晶硅炉，解决现有单炉炼制导致能源浪费和熔融效率低的问题，该硅炉具有生产效率高、成品率高、加工成本低的优点。

主权项

1.一种单晶硅炉，包括下炉体（1）和上炉盖（2），所述上炉盖（2）上设置有提拉组件（3），下炉体（1）上设置有导流筒（4）；其特征在于，所述的下炉体（1）内有内腔（5），所述内腔（5）内设有坩埚（6），所述的坩埚（6）中部内凹，其内凹处设置有石墨加热器（7），所述石墨加热器（7）底部设有支撑杆（8），所述支撑杆（8）通过安装座（9）固定于下炉体（1）上，所述支撑杆（8）外套设有十字套管（10），所述十字套管（10）上连有齿轮部件（11），坩埚（6）通过连接杆（12）连接于十字套管（10）；所述安装座（9）上设置有驱动电机（13），所述驱动电机（13）与齿轮部件（11）通过驱动齿条（14）连接；安装座（9）的底部设置有气缸（15）；位于上炉盖（2）的中部设置有加料仓（18），所述加料仓（18）上设置旋转电机（19），所述旋转电机（19）的输出轴（20）上设置有破碎辊（21），位于加料仓（18）的垂直内壁上安装有与破碎辊（21）交错设置的压辊（22）。