[实用新型]一种用于卷对卷激光直写曝光机的镜头位置自动标定装置有效

专利信息
申请号: 201820372387.7 申请日: 2018-03-19
公开(公告)号: CN207993362U 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 王历先 申请(专利权)人: 合肥芯碁微电子装备有限公司
主分类号: G09F7/20 分类号: G09F7/20
代理公司: 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 代理人: 宋倩;奚华保
地址: 230088 安徽省合肥市高新区*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型提供一种用于卷对卷激光直写曝光机的镜头位置自动标定装置,包括安装在所述曝光台凹槽处的升降气缸、安装在所述升降气缸上的相机支架以及安装在所述相机支架上的标定相机;所述升降气缸在所述曝光光头组对PCB基板进行曝光时处于缩回状态,此时所述升降气缸、相机支架和标定相机均低于所述吸盘的上表面;所述升降气缸在所述标定相机对曝光光头组的镜头位置进行标定时处于伸出状态,此时所述升降气缸、相机支架和标定相机均高于所述吸盘的上表面。本实用新型能够实现卷对卷激光直写曝光机的镜头位置标定的非人工化处理,节约了镜头位置标定时间,并且镜头位置标定重复性高。
搜索关键词: 标定 镜头位置 升降气缸 相机支架 激光直写 卷对卷 曝光机 相机 吸盘 自动标定装置 本实用新型 上表面 光头 曝光 伸出状态 缩回状态 凹槽处 曝光台 组对 节约
【主权项】:
1.一种用于卷对卷激光直写曝光机的镜头位置自动标定装置,所述卷对卷激光直写曝光机包括曝光台、设置在曝光台上方用于对PCB基板进行曝光的曝光光头组以及放置在曝光台上用于吸附PCB基板的吸盘,其特征在于:所述自动标定装置包括安装在所述曝光台凹槽内的升降气缸、安装在所述升降气缸上的相机支架以及安装在所述相机支架上的标定相机;所述升降气缸在所述曝光光头组对PCB基板进行曝光时处于缩回状态,此时所述升降气缸、相机支架和标定相机均低于所述吸盘的上表面;所述升降气缸在所述标定相机对曝光光头组的镜头位置进行标定时处于伸出状态,此时所述升降气缸、相机支架和标定相机均高于所述吸盘的上表面。
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