[实用新型]一种晶圆片高效分选的自动清洗机构

摘要

本实用新型公开了一种晶圆片高效分选的自动清洗机构，其结构包括晶圆片分选机本体、吸附机构、晶圆片放置架、支撑腿、晶圆片放置槽和喷头，所述晶圆片分选机本体的内侧顶部设有固定杆，所述固定杆的底部设有气缸，所述气缸的顶部设有电机，且所述电机位于固定杆的顶部，所述气缸的底部设有吸附机构，所述晶圆片分选机本体的内侧底部设有晶圆片放置架，所述晶圆片放置架的底部两侧设有支撑板，所述晶圆片放置架的顶部设有活动板，所述水盒的内侧分布有喷头，所述晶圆片分选机本体的底部分布有支撑腿。该晶圆片高效分选的自动清洗机构，高效的将活动板上的晶圆片放置槽清洗干净，使得吸附机构产生较强的吸力，可高效的将晶圆片吸附分选。

主权项

1.一种晶圆片高效分选的自动清洗机构，其结构包括晶圆片分选机本体(1)、吸附机构(2)、晶圆片放置架(3)、支撑腿(4)、晶圆片放置槽(5)和喷头(6)，其特征在于：所述晶圆片分选机本体(1)的内侧顶部设有固定杆(8)，所述固定杆(8)的底部设有气缸(7)，所述气缸(7)的顶部设有电机(9)，且所述电机(9)位于固定杆(8)的顶部，所述气缸(7)的底部设有吸附机构(2)，所述晶圆片分选机本体(1)的内侧底部设有晶圆片放置架(3)，所述晶圆片放置架(3)的底部两侧设有支撑板(14)，所述晶圆片放置架(3)的顶部设有活动板(15)，所述活动板(15)的顶部分布有晶圆片放置槽(5)，所述晶圆片放置架(3)的顶部两侧设有水盒(11)，所述水盒(11)的顶部中间设有注水孔(12)，所述水盒(11)的内侧分布有喷头(6)，所述晶圆片分选机本体(1)的底部分布有支撑腿(4)。