[实用新型]用于重稀土扩散法制作钕铁硼永磁的真空磁控涂覆设备有效
| 申请号： | 201820332172.2 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN207958490U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 陈刚;张浙军;裴宏伟;邓广林;康振东 | 申请（专利权）人： | 山东睿磁真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01F1/057 |
| 代理公司： | 青岛清泰联信知识产权代理有限公司 37256 | 代理人： | 高洋 |
| 地址： | 264205 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 用于重稀土扩散法制作钕铁硼永磁的真空磁控涂覆设备，包括真空涂覆室，和安装在真空涂覆室内的磁控溅射靶极，真空涂覆室内安装有传动机构，传动机构上设置有用于承载待涂覆工件的承载盘或承载板，所述磁控溅射靶极设置在传动机构的上方。本实用新型提供了一种用于重稀土扩散法制作钕铁硼永磁的真空磁控涂覆设备。采用重稀土材料制作磁控溅射靶极的靶材，靶材可以绕管的中心轴线360°匀速旋转，使靶材上的重稀土材料被均匀刻蚀，通过选择适当的磁控溅射靶极间距或者传动机构往复运动的节拍速度，可以控制待涂覆磁铁在靶极下涂覆受热升温时间和未涂覆散热降温时间占比，解决长时间连续涂覆过高的温升问题。 | ||
| 搜索关键词： | 重稀土 磁控溅射靶 涂覆 钕铁硼永磁 涂覆设备 真空涂覆 靶材 磁控 扩散 本实用新型 散热降温 时间连续 室内安装 涂覆工件 匀速旋转 中心轴线 受热 承载板 承载盘 磁铁 靶极 刻蚀 绕管 温升 节拍 承载 室内 | ||
【主权项】：
1.用于重稀土扩散法制作钕铁硼永磁的真空磁控涂覆设备，包括真空涂覆室，和安装在真空涂覆室内的磁控溅射靶极，其特征在于：所述真空涂覆室内安装有传动机构，传动机构上设置有用于承载待涂覆工件的承载盘或承载板，所述磁控溅射靶极设置在传动机构的上方。
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