[实用新型]用于晶片镀膜的改进型治具有效

专利信息
申请号: 201820328595.7 申请日: 2018-03-09
公开(公告)号: CN207958493U 公开(公告)日: 2018-10-12
发明(设计)人: 周朱华;王祖勇 申请(专利权)人: 嘉兴晶控电子有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/24;C23C14/18
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 李伊飏
地址: 314000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及用于晶片镀膜的改进型治具,包括用于固定晶片的固定板,固定板中部设置有上下贯穿的固定孔,固定孔两侧的固定板上均活动穿设有两个导向杆,两个导向杆内侧端部设置有位于固定孔内的L型卡爪,导向杆外侧端部设置有位于固定板外侧的挡板,导向杆上套设有位于挡板与固定板之间的复位弹簧,两个导向杆之间的固定板上螺纹穿设有调节螺杆,调节螺杆的内侧端部与卡爪相抵,调节螺杆的外侧端部设置有位于固定板外侧的旋钮,固定板上下方分别设置有上盖板和下盖板,上盖板和下盖板中部设置有与固定孔同心的镀膜孔;本实用新型结构简单,使用方便,对晶片的固定可靠,能适应对不同面积的镀膜需要。
搜索关键词: 固定板 导向杆 固定孔 调节螺杆 本实用新型 挡板 晶片镀膜 内侧端部 外侧端部 改进型 上盖板 下盖板 镀膜 治具 固定板中部 复位弹簧 固定晶片 上下贯穿 上螺纹 同心的 晶片 卡爪 上套 旋钮 相抵
【主权项】:
1.用于晶片镀膜的改进型治具,其特征在于:包括用于固定晶片的固定板,固定板中部设置有上下贯穿的固定孔,固定孔两侧的固定板上均活动穿设有两个导向杆,两个导向杆内侧端部设置有位于固定孔内的L型卡爪,导向杆外侧端部设置有位于固定板外侧的挡板,导向杆上套设有位于挡板与固定板之间的复位弹簧,两个导向杆之间的固定板上螺纹穿设有调节螺杆,调节螺杆的内侧端部与卡爪相抵,调节螺杆的外侧端部设置有位于固定板外侧的旋钮,固定板上下方分别设置有上盖板和下盖板,上盖板和下盖板中部设置有与固定孔同心的镀膜孔。
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