[实用新型]复合阳极键合装置有效
| 申请号： | 201820309107.8 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN207918426U | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 潘明强;孙立宁 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 叶栋 |
| 地址： | 215104 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种复合阳极键合装置，用于纳米间隙原位活化的复合阳极键合，其特征在于，包括介质阻挡放电电源、键合电源、电极、以及电源切换控制机构，所述介质阻挡放电电源与键合电源分别通过所述电源切换控制机构与所述电极相连。本装置先在被键合界面的纳米间隙进行介质阻挡放电的活化工序，再通过切换电源直接完成阳极键合工序，实现了原位活化的阳极键合。本装置简化了整体设备的复杂性，降低了生产成本，并且操作更方便，工艺可控性更好；另外，通过本装置完成的阳极键合无需重新设置被键合件的放电间隙与键合间隙，减少了由操作误差引起的质量问题，提高了成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 键合 电源 介质阻挡放电 复合阳极 阳极键合 电源切换 键合装置 纳米间隙 原位活化 电极 本实用新型 工艺可控性 操作误差 放电间隙 整体设备 质量问题 重新设置 装置简化 成品率 活化 生产成本 | ||
【主权项】：
1.一种复合阳极键合装置，用于纳米间隙原位活化的复合阳极键合，其特征在于，包括介质阻挡放电电源、键合电源、电极、以及电源切换控制机构，所述介质阻挡放电电源与键合电源分别通过所述电源切换控制机构与所述电极相连。
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