[实用新型]一种基于逆辊压印制备复杂三维微结构的装置

摘要

本实用新型公开一种基于逆辊压印制备复杂三维微结构的装置。它通过在衬底上涂抹脱模剂，将带式模板一特征层内的图案转移到衬底上，当具有压印图案的衬底到达压印模板二下方后，在观测装置的观察下，通过控制压印辊二的旋转，使得第一次压印后的特征图案与带式模板二的特征层相对齐，启动加热装置，使得第一次压印后的特征图案顶部融化，并与带式模板二内的光刻胶相粘结，脱模后得到具有复杂三维微结构的图案，最终由收卷辊收集。本实用新型采用逆辊压印技术，通过二次对齐和多次图案转移，实现了复杂三维微结构低成本、高效率的批量生产。

主权项

1.一种基于逆辊压印制备复杂三维微结构的装置，其特征在于，包括放卷辊、张紧辊、支撑辊一、胶盒、衬底、压印辊一、支撑辊二、带式模板一、刮胶刀一、涂胶辊一、脱模辊一、支撑辊三、红外线热源、压印辊二、带式模板二、刮胶刀二、涂胶辊二、脱模辊二、支撑辊四、观测装置、支撑辊五、导向辊一、导向辊二和收卷辊，其中，衬底包覆于放卷辊与收卷辊之上，由支撑辊一、支撑辊二、支撑辊三、支撑辊四、支撑辊五进行支撑，由导向辊一、导向辊二进行导向，由张紧辊进行张紧，带式模板一固定于压印辊一和脱模辊一上，带式模板一上方固定有涂胶辊一，涂胶辊一前方有刮胶刀一，带式模板二固定于压印辊二和脱模辊二上，带式模板二上方固定有涂胶辊二，涂胶辊二前方有刮胶刀二，其中，压印辊二和脱模辊二的装配高度高于压印辊一和脱模辊一，其高度略小于带式模板一的特征层高度，带式模板二下方有观测装置，收卷辊、压印辊一和压印辊二均由伺服电机进行控制，收卷辊、压印辊一和压印辊二作为装置中的主动辊，脱模辊一的转动由压印辊一带动，脱模辊二的转动由压印辊二带动，放卷辊由收卷辊带动。