[实用新型]一种离子源弧光室发射面板的固定结构有效
| 申请号： | 201820292350.3 | 申请日： | 2018-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN207852611U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王玉泉 | 申请（专利权）人： | 丹东英普朗特科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/02 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 118009 辽宁省丹*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种离子源弧光室发射面板的固定结构，圆形基座上方设置源体腔，源体腔内设置加热坩埚，源体腔的上方设置弧光室，弧光室的最上方为发射面板；所述源体腔的上方设置定位凸台，所述定位凸台上设置通孔，固定杆穿过所述通孔，固定杆的上方挂钩压在发射面板的上方，固定杆的下方与拉簧连接，拉簧固定在圆形基座上；所述固定杆为多个，沿发射面板的纵向轴线对称设置。本实用新型的优点是：由于增加了定位凸台，固定杆的径向移动受到限制，因此，保证了发生面板的位置稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 固定杆 弧光室 体腔 发射 本实用新型 定位凸台 固定结构 圆形基座 离子源 拉簧 通孔 对称设置 加热坩埚 径向移动 位置稳定 纵向轴线 定位凸 穿过 挂钩 保证 | ||
【主权项】：
1.一种离子源弧光室发射面板的固定结构，其特征在于：圆形基座上方设置源体腔，源体腔内设置加热坩埚，源体腔的上方设置弧光室，弧光室的最上方为发射面板；所述源体腔的上方设置定位凸台，所述定位凸台上设置通孔，固定杆穿过所述通孔，固定杆的上方挂钩压在发射面板的上方，固定杆的下方与拉簧连接，拉簧固定在圆形基座上；所述固定杆为多个，沿发射面板的纵向轴线对称设置。
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