[实用新型]一种离子源弧光室的灯丝夹结构有效
申请号: | 201820292335.9 | 申请日: | 2018-03-02 |
公开(公告)号: | CN207852613U | 公开(公告)日: | 2018-09-11 |
发明(设计)人: | 王玉泉 | 申请(专利权)人: | 丹东英普朗特科技有限公司 |
主分类号: | H01J49/12 | 分类号: | H01J49/12;H01J49/02 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 俞鲁江 |
地址: | 118009 辽宁省丹*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开一种离子源弧光室的灯丝夹结构,圆形基座上方设置源体腔,源体腔内设置加热坩埚,源体腔的上方设置弧光室,弧光室内设置灯丝和反射板,弧光室的最上方为发射面板;所述源体腔的外壁设置固定座,灯丝夹通过所述固定座固定在源体腔上;所述灯丝夹的夹体上设置长条形孔和灯丝固定孔,自长条形孔至夹体的上端设置开槽,长条形孔和灯丝固定孔间设置通孔;两个灯丝夹间设置绝缘隔环,绝缘隔环的位置与所述通孔对应;灯丝的电极插入所述灯丝固定孔内;螺栓穿过所述通孔和绝缘隔环后由螺母紧固。本实用新型的优点是:由于采用了二次紧固结构,保证了灯丝的稳定连接,因此,离子源工作稳定,可靠性提高。 | ||
搜索关键词: | 灯丝 灯丝夹 体腔 弧光室 长条形孔 固定孔 离子源 隔环 通孔 绝缘 本实用新型 固定座 夹体 弧光 螺栓 工作稳定 加热坩埚 紧固结构 螺母紧固 外壁设置 稳定连接 圆形基座 反射板 电极 上端 开槽 穿过 室内 发射 保证 | ||
【主权项】:
1.一种离子源弧光室的灯丝夹结构,其特征在于:圆形基座上方设置源体腔,源体腔内设置加热坩埚,源体腔的上方设置弧光室,弧光室内设置灯丝和反射板,弧光室的最上方为发射面板;所述源体腔的外壁设置固定座,灯丝夹通过所述固定座固定在源体腔上;所述灯丝夹的夹体上设置长条形孔和灯丝固定孔,自长条形孔至夹体的上端设置开槽,长条形孔和灯丝固定孔间设置通孔;两个灯丝夹间设置绝缘隔环,绝缘隔环的位置与所述通孔对应;灯丝的电极插入所述灯丝固定孔内;螺栓穿过所述通孔和绝缘隔环后由螺母紧固。
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