[实用新型]一种真空镀膜机的过滤滚筒转架

摘要

本实用新型涉及一种真空镀膜机的过滤滚筒转架，包括架体，架体上设置有放置机构，架体呈圆盘状，放置机构包括放置杆以及放置盘，架体上设置有若干包络机构，各包络机构包括第一半体及第二半体，第一半体设置有第一半腔，第二半体设置有第二半腔，第一半腔与第二半腔组合为包络腔，放置杆及放置盘设置于包络腔内，第一半体及第二半体设置有过滤孔。采用上述方案，提供一种通过拼接第一半体及第二半体，使放置杆及放置架包络于包络腔内，并在第一半体及第二半体设置只允许金属离子及电子通过的过滤孔，从而放置金属颗粒溅射于被镀工件表面，提高镀膜质量的一种真空镀膜机的过滤滚筒转架。

主权项

1.一种真空镀膜机的过滤滚筒转架，包括用于安装的架体，所述架体上设置有用于放置被镀工件的放置机构，其特征在于：所述架体呈圆盘状，所述放置机构包括沿架体周向排列设置于架体上的若干根放置杆以及沿放置杆轴向排列设置于放置杆外周的放置盘，所述放置杆轴向与架体轴向平行设置，所述架体上设置有若干用于包络各放置杆的包络机构，各所述包络机构包括左右对称设置于放置杆径向两侧的第一半体及第二半体，所述第一半体设置有开口朝向放置杆的第一半腔，所述第二半体设置有开口朝向放置杆的第二半腔，当所述第一半体与第二半体拼合时，所述第一半腔与第二半腔组合为包络腔，所述放置杆及放置盘设置于包络腔内，所述第一半体及第二半体外侧向内贯穿设置有与包络腔连通的过滤孔，所述过滤孔的直径大于金属离子与电子的大小，小于金属颗粒的大小。