[实用新型]一种新型的显影装置有效
| 申请号： | 201820158399.X | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN208013665U | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 薛文卿;杨喻;张月圆 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型的显影装置，包括承片台，所述承片台的内部中间处贯穿设置有真空吸尘器，所述承片台的一侧外表面固定安装有一号输送管，所述承片台的另一侧外表面固定安装有二号输送管，所述承片台的上端外表面固定安装有掩模，所述掩模的正上方固定安装有喷洒管道，所述喷洒管道的上端外表面一侧设置有去离子水管，所述喷洒管道的上端外表面另一侧设置有显影液管，所述显影液管远离离子水管的一端外表面固定安装有水套。本实用新型所述的一种新型的显影装置采用掩模旋转与喷头固定的方式，能缩短显影液涂布时间，改善显影液在掩模中心处和边缘处覆盖不均的问题，提高线宽均匀性，带来更好的使用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 承片台 上端外表面 喷洒管道 显影装置 显影液 本实用新型 输送管 掩模 离子 水管 喷头 显影液涂布 线宽均匀性 掩模中心处 真空吸尘器 掩模旋转 边缘处 固定的 中间处 水套 贯穿 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种新型的显影装置，包括承片台(1)，其特征在于：所述承片台(1)的内部中间处贯穿设置有真空吸尘器(2)，所述承片台(1)的一侧外表面固定安装有一号输送管(3)，所述承片台(1)的另一侧外表面固定安装有二号输送管(4)，所述承片台(1)的上端外表面固定安装有掩模(5)，所述掩模(5)的正上方固定安装有喷洒管道(6)，所述喷洒管道(6)的上端外表面一侧设置有去离子水管(7)，所述喷洒管道(6)的上端外表面另一侧设置有显影液管(8)。
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