[实用新型]一种双晶制备热压炉

摘要

本实用新型公开了一种双晶制备热压炉。本实用新型的上顶杆、下顶杆、模具、上模芯和下模芯均采用碳化硅SiC，胶合好的两个单晶样品置于模具中，且位于上模芯与下模芯之间，模具放置在下顶杆的顶端，上顶杆的底端抵在上模芯的顶端；通过转动摇杆对上顶杆施压，以调整样品所受到的压力；通过压力传感器监测压力；在大气环境中，通过控温系统控制加热炉内的升温速率、最终温度、保温时间和降温速率；SiC材料可承受很高的温度(1500℃)，同时有较高的强度；本实用新型在大气中进行即可，不需要对加热系统、模具等进行抽真空，也不需要对加热系统、模具等进行保护气体保护，装置构造简单，操作方便，完全满足双晶制备的要求。

主权项

1.一种双晶制备热压炉，其特征在于，所述双晶制备热压炉包括：支撑架、加热炉、上顶杆、摇杆、下顶杆、底座、模具、上模芯、下模芯、压力传感器和控温系统；其中，所述加热炉固定安装在支撑架内；加热炉的顶壁和底壁分别开设有同轴的上通孔和下通孔；所述上顶杆的底端通过上通孔伸入至加热炉内，上顶杆的顶端穿出支撑架的顶部；在上顶杆的顶端设置摇杆；在上顶杆的顶端与摇杆之间设置压力传感器；在支撑架内的底部设置底座；在底座的顶端固定下顶杆；所述下顶杆的顶端通过下通孔伸入至加热炉内；所述上顶杆和下顶杆同轴；所述模具的中心具有贯通模具上下两端的贯通孔；在贯通孔内设置有上模芯和下模芯，上模芯和下模芯的外形与贯通孔的形状相适配；胶合好的两个单晶样品水平置于模具中，且位于上模芯与下模芯之间；所述上模芯的底端紧压两个单晶样品的上表面，上模芯的顶端从贯通孔穿出模具的上端；所述模具放置在位于加热炉内的下顶杆的顶端；上顶杆的底端抵在上模芯的顶端；所述上顶杆、下顶杆、模具、上模芯和下模芯均采用碳化硅SiC；所述加热炉连接至控温系统。