[实用新型]一种晶圆观察检测装置有效
| 申请号： | 201820074444.3 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN207850937U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 张浩;陈志远;朱锦键;万伂芯;聂伟 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 董旭东 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了电子芯片领域内的一种晶圆观察检测装置，包括显微镜和静电手环，静电手环经导线连接有接地插头，所述显微镜设置在工作台上，工作台的底部竖直设置有至少四根支撑腿，相邻支撑腿之间设有加强连接杆，加强连接杆平行设置有两根，两根加强连接杆之间横向设置有支撑杆，其中一根所述支撑腿上设有警报器，警报器上设有可容接地插头插入的插孔，所述警报器和显微镜之间采用串联电路连接，安装有警报器的支撑腿上还设有同时控制警报器和显微镜的联动开关，所述警报器上设有指示灯。本实用新型能够确保工作人员在佩戴静电手环之后，再使用显微镜观察和检测晶圆产品，保护晶圆产品，防止晶圆被击穿。 | ||
| 搜索关键词： | 警报器 显微镜 加强连接杆 静电手环 支撑腿 观察检测装置 本实用新型 接地插头 晶圆产品 种晶 指示灯 显微镜观察 相邻支撑腿 串联电路 导线连接 电子芯片 横向设置 联动开关 平行设置 竖直设置 再使用 支撑杆 工作台 插孔 击穿 晶圆 佩戴 检测 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆观察检测装置，包括显微镜和静电手环，静电手环经导线连接有接地插头，其特征在于，所述显微镜设置在工作台上，工作台的底部竖直设置有至少四根支撑腿，相邻支撑腿之间设有加强连接杆，加强连接杆平行设置有两根，两根加强连接杆之间横向设置有支撑杆，其中一根所述支撑腿上设有警报器，警报器上设有可容接地插头插入的插孔，所述警报器和显微镜之间采用串联电路连接，安装有警报器的支撑腿上还设有同时控制警报器和显微镜的联动开关，所述警报器上设有指示灯。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏汇成光电有限公司，未经江苏汇成光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820074444.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：试纸
- 下一篇：变倍装置及数字病理切片扫描仪
