[实用新型]一种刻蚀设备

摘要

本实用新型涉及了一种刻蚀设备，其特征在于，包括：机架，在该机架上设置有承载装置，用来承载晶圆或印制线路板。在该承载装置的下方设置有刻蚀装置和清洗装置，两者均可左右移动，且同步联动。刻蚀装置包括刻蚀刀及刻蚀液泵；清洗装置包括清洗刀及清洗液泵。刻蚀刀和清洗刀完全掠过晶圆或印制线路板的下表面，且在两者顶部上分别设置有第一窄缝、第二窄缝。这样一来，清洗液由下向上喷射，能有效地缩短蚀刻液在晶圆或印制线路板预处理面的滞留时间，尽可能地减少了水池效应，从而保证了线路蚀刻的精度及准确性。再者，借助该刻蚀设备可在同一工位上先后对晶圆或印制线路板进行刻蚀和清洗操作，保证工序的连贯性。

主权项

1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括：机架；在所述机架上设置有承载装置，其用来承载晶圆或印制线路板；在所述承载装置的下方设置有刻蚀装置和清洗装置；所述刻蚀装置和所述清洗装置均可左右移动，且同步联动；所述刻蚀装置包括刻蚀刀；所述清洗装置包括清洗刀；所述刻蚀装置还包括刻蚀液泵，其用来为所述刻蚀刀提供一定压力的刻蚀液；所述清洗装置还包括清洗液泵，其用来为所述清洗刀提供一定压力的清洗液；所述刻蚀刀和所述清洗刀在左右移动过程中完全掠过所述晶圆或印制线路板的下表面，且在两者顶部上分别设置有第一窄缝、第二窄缝。