[实用新型]对准标记重现清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种对准标记重现清洗装置。对准标记重现清洗装置包括基板、清洗桶、第一液管、喷嘴和真空管道。基板用于放置晶圆。清洗桶架设于晶圆的上方，清洗桶的外壁与内壁之间形成有环形空间。第一液管位于环形空间内，第一液管的出液口对应于晶圆上的对准标记，且第一液管的出液口的大小与对准标记的大小相适配。喷嘴设于清洗桶上，喷嘴与第一液管的进液口相连通，喷嘴用于向第一液管内通入刻蚀剂和清洗剂。真空管道设于清洗桶上，真空管道与环形空间相连通，真空管道的远离所述清洗桶的一端用于连接于真空设备。该对准标记重现清洗装置能够减少刻蚀剂和清洗剂的用量，减少对晶圆的二次污染。

主权项

1.一种对准标记重现清洗装置，用于使晶圆上的对准标记重现，其特征在于，所述对准标记重现清洗装置包括：基板，所述基板用于放置所述晶圆；清洗桶，所述清洗桶架设于所述晶圆的上方，所述清洗桶的外壁与内壁之间形成有环形空间；第一液管，所述第一液管位于所述环形空间内，所述第一液管的出液口对应于所述晶圆上的对准标记，且所述第一液管的出液口的大小与所述对准标记的大小相适配；喷嘴，所述喷嘴设于所述清洗桶上，所述喷嘴与所述第一液管的进液口相连通，所述喷嘴用于向所述第一液管内通入刻蚀剂和清洗剂；真空管道，所述真空管道设于所述清洗桶上，所述真空管道与所述环形空间相连通，所述真空管道的远离所述清洗桶的一端用于连接于真空设备。