[发明专利]一种纳米图形快速固化装置

摘要

本发明提供一种纳米图形快速固化装置，包括腔体，在腔体内设有旋转夹持机构和微波耦合匹配器，旋转夹持机构包括载片台和旋转电机，旋转电机与载片台以机械方式相连接，进而能够驱使载片台围绕旋转电机的旋转轴转动；微波耦合匹配器通过微波传输导线与微波功率源相连接，微波耦合匹配器包括微波天线、阻抗匹配网络和微波检测器，根据微波检测器的检测结果，阻抗匹配网络自动调整，以使得微波天线能够将微波功率源的输出功率完全施加至腔体内；腔体内还设有开口，其通过导管与外部的真空泵组相连。本发明纳米图形快速固化装置，能够有效彻底地清除晶圆上的水分，进而快速固化纳米图形结构，并且干燥过程不会导致这些结构塌陷。