[发明专利]一种流体输送装置、系统及流体输送系统的使用方法有效
申请号: | 201811643259.2 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN111379970B | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 俞芸;杨志斌 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | F17D1/04 | 分类号: | F17D1/04;F17D3/01 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种流体输送装置、系统及流体输送系统的使用方法。该流体输送装置包括:流体输入单元、流体分配单元和流体输出单元;所述流体分配单元的一端与所述流体输入单元密封连接,另一端与所述流体输出单元密封连接;所述流体输入单元用于输入流体,并将所述流体引入所述流体分配单元;所述流体分配单元包括通路调节器和多个流体传输管,所述通路调节器用于调整所述多个流体传输管的连接关系,改变所述流体分配单元的流体输出性能;所述流体输出单元用于将由所述流体分配单元流出的流体输出。本发明的方案实现了快速的对流体输出性能进行调节,实现不同的流量输出,提高了调节效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 流体 输送 装置 系统 使用方法 | ||
【主权项】:
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