[发明专利]一种表面等离激元掩模板

摘要

本发明公开了一种表面等离激元掩模板。该表面等离激元掩模板包括透明衬底和设置于透明衬底一侧的金属层；金属层包括至少一个周期结构；周期结构包括至少两个表面等离激元掩模单元；每个表面等离激元掩模单元包括两条形状相同的狭缝，沿垂直于狭缝的延伸方向，同一表面等离激元掩模单元的两条形状相同的狭缝的宽度相同；狭缝在垂直于金属层所在平面的方向上的尺寸与金属层的厚度相同；沿垂直于狭缝的延伸方向，同一表面等离激元掩模单元的两条狭缝的中心之间的距离满足：其中，di表示第i个表面等离激元掩模单元中两条狭缝的中心之间的距离；i表示正整数；n表示非负整数。本发明的技术方案，可以实现多种由纳米条带构成的复杂图形。