[发明专利]一种坩埚氧化装置及氧化方法在审
| 申请号： | 201811626274.6 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111348936A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 王新峰;谈笑天;肖亚东 | 申请（专利权）人： | 汉能新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/80 | 分类号： | C04B41/80;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 101407 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种坩埚氧化装置及氧化方法，涉及三五族化合物半导体材料制备技术领域。本发明的主要目的在于，提供一种提升坩埚氧化时间、充氧过程更密封的坩埚氧化装置及氧化方法。包括：石英管及加热装置，所述加热装置具有加热腔，所述石英管置于所述加热腔内；所述石英管具有开口端及出气口，所述石英管的开口端设置有石英帽，所述坩埚置于所述石英管内；所述石英管通过所述石英帽与外部供氧装置连通。通过设置的所述石英帽对所述石英管的开口端有效密封，同时所述石英管通过所述石英帽与所述供养装置连接，使得充氧过程在一个封闭的环境内进行，而不是在开放的环境中进行，不会引入空气中的杂质，保证坩埚的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 氧化 装置 方法 | ||
【主权项】：
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