[发明专利]一种TiAlN硬质涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201811622631.1 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109666887B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 王启民;彭滨;许雨翔;刘喆人;张权 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明属于涂层材料领域，公开了一种TiAlN硬质涂层及其制备方法。该方法对硬质合金基体进行抛光超声清洗，再吹干除尘后放入镀膜机腔室，加热腔体升温至400～600℃，使其真空度在1～6×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 tialn 硬质 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种TiAlN硬质涂层的制备方法，其特征在于，包括如下具体步骤：S1.基体清洗：对硬质合金基体进行抛光处理，然后使用丙酮和无水乙醇超声波清洗，再用普氮吹干除尘后装入真空镀膜机腔室内；S2.辉光清洗：加热腔体升温至400～600℃，并对腔体抽真空至真空度在1.0～6.0×10‑3Pa，抽真空过程降至300～400℃并保持恒温；然后通入Ar气，调节腔体气压，给工件转架加载偏压，对硬质合金基体表面进行辉光清洗；S3.金属离子刻蚀：控制通入Ar气流量，调节腔体气压，采用阴极弧蒸发沉积法点燃Zr靶，设置Zr靶电流和工件转架偏压，对硬质合金基体进行金属离子刻蚀；S4.沉积TiAlN硬质涂层：关闭Ar气阀门通入N2，调节腔室气压和工件转架偏压，点燃Ti50Al50靶并设置其电流进行涂层沉积，在硬质合金基体表面制得TiAlN硬质涂层，所述TiAlN硬质涂层中各元素的原子百分比含量为：Ti：25～30at.％，Al：20～25at.％，N：48～52at.％。
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