[发明专利]多级药品回收的单片清洗装置

摘要

本发明涉及半导体晶圆清洗过程中化学药品回收设备技术领域，公开了一种多级药品回收的单片清洗装置，包括旋转机构以及多级药品回收机构；所述旋转机构包括旋转卡盘以及旋转驱动组件；所述多级药品回收机构分别包括回收腔体和升降驱动组件。本发明多级药品回收的单片清洗装置通过设置多级药品回收机构，单片清洗操作过程中，采用不同的药品进行清洗晶圆时，可以采用不同的药品回收机构对药品进行回收，实现了各类药品的分类回收，方便了对药品的再次利用。

主权项

1.一种多级药品回收的单片清洗装置，其特征在于，所述单片清洗装置包括旋转机构以及多级药品回收机构；所述旋转机构包括旋转卡盘以及旋转驱动组件；所述多级药品回收机构分别包括回收腔体和升降驱动组件，所述回收腔体环绕设置在所述旋转卡盘的周向外侧，且多个所述回收腔体依次套设设置；多个所述回收腔体分别能够在所述升降驱动组件的作用下独立升降，以实现回收腔体在工作位与非工作位的调节；所述回收腔体处于工作位时，所述回收腔体能够与所述旋转卡盘连通，所述回收腔体的非工作位的高度不大于旋转卡盘的高度；其中一个回收腔体工作时，在该工作的回收腔体内侧的其他回收腔体均处于非工作位，在该工作的回收腔体内侧的其他回收腔体均能够密封设置。