[发明专利]一种凸非球面反射镜面形的检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201811617767.3 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109855560B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 王孝坤;蔡志华;胡海翔;薛栋林;张学军;张海东;王晶 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 吴乃壮 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学元件检测技术领域，特别涉及一种凸非球面反射镜面形的检测装置及检测方法，包括：干涉仪、球面标准镜、混合补偿器、以及待检镜；球面标准镜放置在干涉仪和所述混合补偿器之间，待检镜放置在所述混合补偿器的另一侧；干涉仪发出激光照射到所述球面标准镜上后转换为球面波；球面波经混合补偿器之后被调制成符合待检镜面形的波前，并形成干涉条纹；调整所述干涉仪和/或所述混合补偿器或/和所述待检镜的位置直至所述干涉条纹为零条纹，以得到待检镜的面形信息。检测装置中混合补偿器根据待检镜进行设计，其中的光楔和CGH各补偿一部分像差，能够降低CGH的制作难度，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球面 反射 镜面形 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种凸非球面反射镜面形的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：干涉仪、球面标准镜、混合补偿器、以及待检镜；所述球面标准镜放置在所述干涉仪和所述混合补偿器之间，所述待检镜放置在所述混合补偿器的另一侧；其中，所述混合补偿器根据所述待检镜的几何参数进行设计得到，包括光楔和刻画在所述光楔上的CGH；所述干涉仪发出激光照射到所述球面标准镜上后转换为球面波；所述球面波经所述混合补偿器之后被调制成符合所述待检镜面形的波前，并形成干涉条纹；调整所述干涉仪和/或所述混合补偿器或/和所述待检镜的位置直至所述干涉条纹为零条纹，以得到待检镜的面形信息。
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