[发明专利]一种柔性薄膜太阳能电池用背电极的制备方法

摘要

本发明公开一种柔性薄膜太阳能电池用背电极的制备方法，包括以下步骤：选取聚合物基板或金属柔性基板作为柔性基底；通过离子源溅射，对柔性基底进行清洗；通过磁控溅射，依次生长合金膜层、ZnAl膜层、降阻膜层、防腐蚀膜层、Mo膜层；最后将得到的膜层结构放入真空炉中退火，得到所述柔性薄膜太阳能电池用背电极；方法制备得到的背电极具有质量轻、可弯曲、便于携带、后期高温硒化不变形、抗腐蚀、低电阻率、薄膜应力小等优点，且多层膜结构与基底附着强度高，能够避免基底中Na⁺向吸收层的扩散且与CIGS有良好的欧姆接触。

主权项

1.一种柔性薄膜太阳能电池用背电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、选取聚合物基板或金属柔性基板作为柔性基底；S2、通过离子源溅射，对柔性基底进行清洗；S3、通过磁控溅射，在柔性基底顶面溅射生长60～120 nm厚度的合金膜层，合金膜层为CuAl、CuZn、TiAl或TiCu；S4、通过磁控溅射，在合金膜层顶面溅射生长40～80 nm厚度的ZnAl膜层；S5、通过磁控溅射，在ZnAl膜层顶面溅射生长20～40 nm厚度的降阻膜层，降阻膜层为Ti、Al、Ag或Cu膜层；S6、通过磁控溅射，，在降阻膜层顶面溅射生长15～60 nm厚度的防腐蚀膜层，防腐蚀膜层为MoN、MoO、Al₂O₃、Ti_xN_y或TiO_xN_y等膜层；S7、通过磁控溅射，在防腐蚀膜层顶面溅射生长55～75 nm厚度的Mo膜层；S8、将步骤S7得到的膜层结构放入真空炉中退火，得到所述柔性薄膜太阳能电池用背电极。