[发明专利]太阳能电池用钝化层的制备方法以及太阳能电池的制备方法

摘要

本发明提供了一种太阳能电池用钝化层的制备方法以及太阳能电池的制备方法。钝化层的制备方法包括将衬底置于化学气相沉积反应室内，向所述反应室内通入工艺气体，条件是不进行所述工艺工体的排出操作，以及在所述衬底的至少一个表面上沉积所述钝化层。所述制备方法在形成钝化膜层的过程中不进行排气操作，因此通入的工艺气体会被不断消耗，因此成膜速度自然形成从快到慢的渐变，因此很自然的实现了本征钝化膜层的渐变。