[发明专利]一种短相干干涉测量透镜中心厚度的系统和方法

摘要

本发明属于光学精密测量技术领域，具体为一种短相干干涉测量透镜中心厚度的系统和方法。本发明公开的短相干干涉测量透镜中心厚度的系统，包括可见激光光源，超辐射发光二极管（SLD）红外光源，隔离器，波分复用器WDM，测量镜头，分光耦合器，环路器，准直镜头，参考反射镜，平衡探测器，数据采集卡，被测透镜等。本发明以一种宽光谱短相干红外激光作为光源，采用干涉的方法，以非接触的形式测量透镜镜片的中心厚度，能够实现快速、高精度的测量；该系统测量精度可以达到5μm。

主权项

1.一种短相干干涉测量透镜中心厚度的系统，其特征在于，包括：可见光源（1），SLD红外光源（2），2个隔离器（3）、（15），2个分光耦合器（4）、（14），2个环路器（5）、（13），波分复用器WDM（6），测量镜头（7），被测透镜（8），准直镜头（9），参考反射镜（10），平衡探测器（11），数据采集卡（12）；系统光路为：所述SLD红外光源（2）发出的红外激光，经过第一隔离器（15），进入第一分光耦合器（4），经过第一分光耦合器（4）之后分为两路，一路进入第一环路器（5），另一路进入第二环路器（13）；进入第一环路器（5）的红外激光，与可见光源（1）发出并经过第一隔离器（3）的激光一同进入波分复用器WDM（6）进行耦合；经过波分复用器WDM（6）耦合的激光束经过测量镜头（7）聚焦后出射至被测透镜表面（8），经被测透镜（8）表面反射后光束沿原光路返回，经由波分复用器WDM（6）后从波分复用器WDM（6）的另一端出射进入第一环路器（5），该路光束将由第一环路器（5）的3号出口出射，进入第二分光耦合器（14）；另一束由第一分光耦合器（4）出射的光进入第二环路器（13）后，经由准直镜头（9）准直后出射至参考反射镜（10）表面，经由参考反射镜（10）反射后沿原光路返回，反射光由第二环路器（13）的3号出口出射，与由第一环路器（5）的3号出口出射的光束一同进入第二分光耦合器（14）；经第二分光耦合器（14）耦合后，两束光被分成两束光强相等的光进入平衡探测器（11）的两个输入端；平衡探测器（11）对输入的光信号进行处理后转换成电信号，并输出至位于计算机上的数据采集卡（12），在计算器显示屏上显示该信号；再根据前后表面分别形成干涉时参考反射镜（10）的位移量，计算出被测透镜的中心厚度。