[发明专利]发光二极管芯片的清洗装置

摘要

本发明公开了一种发光二极管芯片的清洗装置，属于半导体技术领域。该清洗装置包括底座、晶元环载台、机械手、转盘和第一摆臂，晶元环载台位于底座上，晶元环载台用于承载晶元环，转盘转动设置在底座上，转盘与晶元环载台间隔布置，第一摆臂转动连接在底座上，第一摆臂的转动轴线与转盘的转动轴线平行，第一摆臂上设置有第一清洁头，第一清洁头位于转盘上方，机械手位于底座上且位于晶元环载台和转盘之间，机械手用于可操控地将晶元环载台所承载的晶元环转移至转盘上。通过在第一摆臂上设置第一清洁头，使得可以通过第一清洁头对放置到转盘上的LED芯片进行清洗，避免由人工清洗导致的清洗效率低下的问题，提高了清洗效率。

主权项

1.一种发光二极管芯片的清洗装置，其特征在于，包括底座(10)、晶元环载台(20)、机械手(30)、转盘(40)和第一摆臂(50)，所述晶元环载台(20)位于所述底座(10)上，所述晶元环载台(20)用于承载晶元环，所述转盘(40)转动设置在所述底座(10)上，所述转盘(40)与所述晶元环载台(20)间隔布置，所述第一摆臂(50)转动连接在所述底座(10)上，所述第一摆臂(50)的转动轴线与所述转盘(40)的转动轴线平行，所述第一摆臂(50)上设置有第一清洁头(51)，所述第一清洁头(51)位于所述转盘(40)上方，所述机械手(30)位于所述底座(10)上且位于所述晶元环载台(20)和所述转盘(40)之间，所述机械手(30)用于可操控地将所述晶元环载台(20)所承载的晶元环转移至所述转盘(40)上。