[发明专利]一种太阳能电池退火方法以及装置和太阳能电池制备方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池退火方法以及装置和太阳能电池制备方法，太阳能电池退火方法包括：将表面沉积有氧化铝薄膜层的硅片置于PECVD管式炉中，并在PECVD管式炉以初始温度290℃～300℃为起始，以小于等于10℃/min的升温速率进行升温，直到PECVD管式炉内的温度达到终点温度480℃～500℃，且在PECVD管式炉升温的过程中向PECVD管式炉内通入氢气和氮气的混合气体，对硅片进行氢钝化；使得PECVD管式炉在终点温度恒温25min～30min；在硅片的表面镀SiNx薄膜层。通过将传统的氢钝化与低温连续慢升温进行有效的结合，能够有效减少硅片内部的杂质和晶格缺陷，同时实现了优良的钝化效果，有效增加了少子的寿命和扩散长度，提高电池的开路电压和减少串联电阻。

主权项

1.一种太阳能电池退火方法，其特征在于，包括：步骤1，将表面沉积有氧化铝薄膜层的硅片置于PECVD管式炉中，并在所述PECVD管式炉以初始温度290℃～300℃为起始，以小于等10℃/min的升温速率进行升温，直到所述PECVD管式炉内的温度达到终点温度480℃～500℃，且在所述PECVD管式炉升温的过程中向所述PECVD管式炉内通入氢气和氮气的混合气体，对所述硅片进行氢钝化；步骤2，使得所述PECVD管式炉在所述终点温度恒温25min～30min；步骤3，在所述硅片的表面镀SiNx薄膜层。