[发明专利]一种MPCVD合成设备断电保护系统及控制方法在审
申请号: | 201811592780.8 | 申请日: | 2018-12-20 |
公开(公告)号: | CN109669374A | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 黄翀;唐跃强 | 申请(专利权)人: | 长沙新材料产业研究院有限公司 |
主分类号: | G05B19/042 | 分类号: | G05B19/042;H02H3/24 |
代理公司: | 长沙楚为知识产权代理事务所(普通合伙) 43217 | 代理人: | 陶祥琲 |
地址: | 410205 湖南省长沙市*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供一种MPCVD合成设备断电保护系统及其控制方法,其中,断电保护系统包括不间断电源装置、供电电压测量器件以及控制中心;所述不间断电源装置、供电电压测量器件分别与控制中心连接。本发明能在MPCVD合成设备工作过程中,在外部供电短时间中断的情况下继续为设备供电,使合成反应不受断电的影响,保障合成产品的品质,并能在外部供电长时间未恢复的情况下,启动设备自动化关机程序,按照设定的关机流程依次关闭微波电源、供气装置和冷却装置,保护微波电源、磁控管以及升降系统内部元器件的安全,将断电对设备和合成产品的影响降低到最小,同时还能有效保障设备操作人员的人身安全、提高设备的使用寿命、节约生产成本。 | ||
搜索关键词: | 断电保护系统 合成设备 不间断电源装置 供电电压测量 合成产品 控制中心 外部供电 微波电源 断电 节约生产成本 短时间中断 内部元器件 供气装置 关机程序 关机流程 合成反应 冷却装置 启动设备 人身安全 设备操作 设备供电 升降系统 使用寿命 有效保障 磁控管 对设备 自动化 恢复 安全 | ||
【主权项】:
1.一种MPCVD合成设备断电保护系统,其特征在于,包括不间断电源装置、供电电压测量器件以及控制中心;所述不间断电源装置、供电电压测量器件分别与控制中心连接;所述供电电压测量器件用于测量外部供电电源的电压值并反馈至控制中心;所述不间断电源装置用于在外部供电中断时继续为设备供电;所述控制中心用于接收供电电压测量器件反馈的电压值信号并判定外部供电是否中断,在外部供电判定为中断时开始计时,在外部供电中断超过断电时间警戒值后,启动设备自动关机程序关闭设备。
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