[发明专利]一种高精度补偿的谐振式应变传感器有效
| 申请号： | 201811591154.7 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109631741B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 王立刚 | 申请（专利权）人： | 天津市丽景微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 张晓媛 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新区华苑产*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提出一种高精度补偿的谐振式应变传感器，包括：传感器部分和补偿电路部分，所述传感器部分包括感压膜片、非感压区、谐振工作梁、第一谐振补偿梁、第二谐振补偿梁，所述感压膜片位于整个传感器部分的中央，所述非感压区位于感压膜片的周边，所述感压膜片的周边固支在非感压区的内壁上，所述谐振工作梁的两端固支在所述感压膜片上表面中心处，所述第一谐振补偿梁和第二谐振补偿梁对称固支在所述谐振工作梁的两侧。本发明极大的减少了误差，提高了精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 补偿 谐振 应变 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种高精度补偿的谐振式应变传感器，其特征在于，包括：传感器部分和补偿电路部分，所述传感器部分包括感压膜片、非感压区、谐振工作梁、第一谐振补偿梁、第二谐振补偿梁，所述感压膜片位于整个传感器部分的中央，所述非感压区位于感压膜片的周边，所述感压膜片的周边固支在非感压区的内壁上，所述谐振工作梁的两端固支在所述感压膜片上表面中心处，所述第一谐振补偿梁和第二谐振补偿梁对称固支在所述谐振工作梁的两侧，并位于非感压区上，所述第一谐振补偿梁和第二谐振补偿梁与所述谐振工作梁平行且几何尺寸大小一致；所述补偿电路部分包括计算第一谐振补偿梁第二谐振补偿梁的谐振频率平均值的运算单元和计算所述平均值与谐振工作梁的谐振频率之间的差分电路单元。
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