[发明专利]一种集成聚氨酯薄膜的微流控气动微阀的制备方法在审
| 申请号： | 201811588912.X | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109603933A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 朱真;孙治华 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210018 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成聚氨酯薄膜的微流控气动微阀的制备方法，包括：取基于PDMS的气动控制层，清洗、吹干；在硅晶圆表面均匀旋涂聚氨酯分散体，加热固化，形成聚氨酯弹性薄膜；将处理后的气动控制层和聚氨酯弹性薄膜进行等离子体处理；将等离子体处理后的气动控制层和聚氨酯弹性薄膜键合面迅速对准后施压并加热，使气动控制层表面集成聚氨酯弹性薄膜，得产物；取另一基于PDMS的微流体通道层，清洗、吹干，与所述产物进行等离子体处理；将等离子体处理后的微流体通道层与所述产物键合面迅速对准后施压并加热，使产物表面键合微流体通道层。本发明气密性好、性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 聚氨酯弹性薄膜 等离子体处理 气动控制层 微流体通道 聚氨酯薄膜 键合面 微流控 吹干 施压 微阀 制备 加热 清洗 对准 聚氨酯分散体 硅晶圆表面 表面集成 产物表面 加热固化 气密性好 键合 旋涂 | ||
【主权项】：
1.一种集成聚氨酯薄膜的微流控气动微阀的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：(1)取基于PDMS的气动控制层，清洗、吹干，备用；(2)取硅晶圆，在其表面均匀旋涂聚氨酯分散体，加热固化，形成聚氨酯弹性薄膜；(3)将步骤(1)和(2)处理后的基于PDMS的气动控制层和聚氨酯弹性薄膜进行等离子体处理；(4)将步骤(3)等离子体处理后的基于PDMS的气动控制层和聚氨酯弹性薄膜键合面迅速对准后施压并加热，使气动控制层表面集成聚氨酯弹性薄膜；(5)取基于PDMS的微流体通道层，清洗、吹干，与所述步骤(4)的产物进行等离子体处理；(6)将步骤(5)等离子体处理后的基于PDMS的微流体通道层与步骤(4)的产物键合面迅速对准后施压并加热，使步骤(4)的产物表面键合基于PDMS的微流体通道层，完成气路和液路封闭。
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