[发明专利]柔性阵列基板及其制作方法、柔性显示面板

摘要

本发明提供一种柔性阵列基板及其制作方法、柔性显示面板。柔性阵列基板包括：柔性基底；以及多层无机层和多层金属层在所述柔性基底上堆叠形成的多个薄膜晶体管，其中，至少一层无机层图案化形成多个包含薄膜晶体管的岛状结构，相邻岛状结构之间填充有弯折性能大于所述无机层的有机层，使得所述柔性阵列基板弯曲时，相邻岛状结构具有间隙以进行应力释放。本发明提供的柔性阵列基板及其制作方法、柔性显示面板通过一层或多层无机层图案化后，在弯折及绕曲过程中，可释放应力，遏制无机层裂纹产生，防止由于无机层裂纹导致的器件损坏及密封作用失效，最终导致显示异常。