[发明专利]一种加热设备及多晶硅生产设备在审
| 申请号： | 201811566634.8 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109554755A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张鹏举 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/10 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种加热设备及多晶硅生产设备，加热设备包括：壳体，壳体具有容纳空间；支撑件，固定在容纳空间内，支撑件用于固定多晶硅；至少一个加热部件，固定在容纳空间内，且位于支撑件周围，加热部件的一部分用于对多晶硅的底部加热，加热部件的另一部分用于对多晶硅的侧面加热；至少两个加热电极，加热电极的至少部分位于容纳空间内，与对应的加热部件连接，这样可以同时对多晶硅的底部以及多晶硅的侧面进行加热，增加了多晶硅底部的热辐射，可以弥补底部的热量损失，使得热场分布均匀且连续，可以提高热量的利用率，缩短原料的融化时间。并且，该加热部件为一体结构，可以减少加热电极的使用数量，方便安装。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅 加热部件 容纳空间 加热电极 加热设备 支撑件 多晶硅生产设备 壳体 加热 底部加热 热场分布 热量损失 一体结构 侧面 热辐射 融化 | ||
【主权项】：
1.一种加热设备，其特征在于，包括：壳体，所述壳体具有容纳空间；支撑件，固定在所述容纳空间内，所述支撑件用于固定多晶硅；至少一个加热部件，固定在所述容纳空间内，且位于所述支撑件周围，所述加热部件的一部分用于对所述多晶硅的底部加热，所述加热部件的另一部分用于对所述多晶硅的侧面加热；至少两个加热电极，所述加热电极的至少部分位于所述容纳空间内，与对应的所述加热部件连接。
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