[发明专利]一种单晶炉及单晶硅的制备方法在审
| 申请号： | 201811562822.3 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109554754A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 兰洵 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种单晶炉及单晶硅的制备方法，该单晶炉包括：重锤和与重锤连接的籽晶夹头，重锤包括：用于与钨丝线连接的第一上部件和用于与籽晶夹头连接的第一下部件，重锤或籽晶夹头上设置分流结构，分流结构用于调整单晶炉内保护气体的流动方式，在单晶炉内使至少部分保护气体以第一方向流动，其中第一方向不是沿着重锤或籽晶夹头轴向向下的方向。本发明实施例通过分流结构可以调整保护气体的流动方式，可以分散保护气体的垂直分量，从而抑制保护气体的气流对弯月面和熔体液面的影响，保证单晶硅生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 保护气体 单晶炉 重锤 分流结构 籽晶夹头 单晶硅 流动方式 制备 单晶硅生长 垂直分量 方向流动 上部件 弯月面 钨丝线 下部件 籽晶夹 体液 轴向 保证 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉，包括：重锤和与所述重锤连接的籽晶夹头，其中所述重锤包括：用于与钨丝线连接的第一上部件和用于与所述籽晶夹头连接的第一下部件，其特征在于，所述重锤或所述籽晶夹头上设置分流结构，所述分流结构用于调整所述单晶炉内保护气体的流动方式，在所述单晶炉内使至少部分所述保护气体以第一方向流动，其中所述第一方向不是沿着所述重锤或所述籽晶夹头轴向向下的方向。
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