[发明专利]光纤法布里-玻罗氢气传感器、制作方法及其检测方法有效
| 申请号： | 201811561949.3 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109540841B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 马军;周阳林;关柏鸥 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 雷芬芬 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光纤法布里‑玻罗氢气传感器，包括：单模光纤，石英毛细管，石墨烯薄膜和氢敏感材料膜；所述单模光纤的端面和石英毛细管的一端连接，所述石英毛细管的另一端附着有石墨烯薄膜，石墨烯薄膜的表面附着有氢敏感材料膜；其中，所述石墨烯薄膜和氢敏感材料膜组成石墨烯/氢敏感材料复合薄膜；所述石墨烯/氢敏感材料复合薄膜与单模光纤的端面构成法布里‑玻罗腔的两个反射面。本发明以石墨烯薄膜为衬底，在其表面修饰纳米厚度的氢敏材料钯以构建氢传感器，有机结合石墨烯法布里‑玻罗干涉仪的高灵敏度和纳米钯膜的快速响应特性，实现响应速度快、灵敏度高的光纤氢传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 法布里 氢气 传感器 制作方法 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光纤法布里‑玻罗氢气传感器，其特征在于，包括：单模光纤，石英毛细管，石墨烯薄膜和氢敏感材料膜；所述单模光纤的端面和石英毛细管的一端连接，所述石英毛细管的另一端附着有石墨烯薄膜，石墨烯薄膜的表面附着有氢敏感材料膜；其中，所述石墨烯薄膜和氢敏感材料膜组成石墨烯/氢敏感材料复合薄膜；所述石墨烯/氢敏感材料复合薄膜与单模光纤的端面构成法布里‑玻罗腔的两个反射面。
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