[发明专利]湿度传感器、湿敏材料及制作方法在审
| 申请号： | 201811557328.8 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109557145A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;司俊杰;闫宇;陈颖 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 李萌 |
| 地址： | 314000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种湿度传感器、传感器制作方法以及湿敏材料的制备方法，该湿度传感器包括衬底层、第一电极、第二电极及湿敏材料，所述第一电极及所述第二电极间隔地设置于所述衬底层上，所述湿敏材料填充于所述第一电极与所述第二电极之间，所述湿敏材料为气凝胶结构的湿敏材料。该湿度传感器具有较快的响应速度。 | ||
| 搜索关键词： | 湿敏材料 湿度传感器 第二电极 第一电极 衬底层 传感器制作 气凝胶结构 填充 制备 响应 制作 | ||
【主权项】：
1.一种湿度传感器，其特征在于：包括衬底层、第一电极、第二电极及湿敏材料，所述第一电极及所述第二电极间隔地设置于所述衬底层上，所述湿敏材料填充于所述第一电极与所述第二电极之间，所述湿敏材料为气凝胶结构的湿敏材料。
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