[发明专利]基于元素掺杂缩小有效面积的谐振器、滤波器和电子设备有效
| 申请号： | 201811551324.9 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111342808B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54;H03H9/205 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种减小谐振器的面积的方法，所述谐振器的阻抗值预定且所述谐振器具有由底电极、压电层和顶电极构成的三明治结构，所述方法包括步骤：在所述压电层中掺杂元素，以减小所述有效区域的面积。本发明还涉及一种具有预定阻抗值的谐振器，包括由底电极、压电层和顶电极构成的三明治结构，其中：在所述压电层中掺杂有元素；且所述谐振器的面积不大于参照谐振器的面积的80％，所述参照谐振器为与所述谐振器结构相同、具有所述预定阻抗值且压电层未掺杂元素的谐振器。本发明也涉及一种滤波器以及具有该滤波器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 元素 掺杂 缩小 有效面积 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司，未经天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811551324.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
