[发明专利]光学测量装置与方法在审
| 申请号： | 201811548016.0 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111257722A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 陈尚骏 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/311;G02B6/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光学测量装置与方法，其中该光学测量装置用以测量光子集成电路。光学测量装置包括基板、至少一光波导元件、第一连接器及第二连接器。此至少一光波导元件配置于基板上。第一连接器与第二连接器连接至此至少一光波导元件。来自第一光纤的光信号依序经由第一连接器传递至此至少一光波导元件，经由光子集成电路的至少一第一渐消式耦合器传递至光子集成电路内部，经由光子集成电路的至少一第二渐消式耦合器传递至此至少一光波导元件，且经由第二连接器传递至一第二光纤。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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