[发明专利]一种动态特性测试的激波底座激励装置及其工作方法

摘要

一种动态特性测试的激波底座激励装置及其工作方法，属于微型机械电子技术领域。该装置包括筒体、安装在筒体底部的底板、微结构激励单元和光加热单元，微结构激励单元中在十字弹簧片顶部中心通过微结构安装板粘接安装有MEMS微结构，在十字弹簧片底部中心通过陶瓷片粘接安装有板电极；光加热单元中使用了四个遮光板，使得由光加热单元发出的平行光仅能照射在MEMS微结构上；该装置可以实现对MEMS微结构整体的同时加热，确保了微结构表面的温度分布均匀，降低了微结构表面的温度梯度，大幅提高了高温环境下微结构动态特性参数测试的准确性。

主权项

1.一种动态特性测试的激波底座激励装置，包括筒体（1）和安装在筒体（1）底部的底板（6），在底板1上设有微结构激励单元（5），其特征是：所述微结构激励单元（5）包括第一手动三轴位移台（501）和第二手动三轴位移台（502），在第一手动三轴位移台（501）的Z轴溜板上安装有第一连接板（503），在第一连接板（503）顶面中心设有阶梯状安装孔，在安装孔内的环形阶梯处安装有十字弹簧片（510），在十字弹簧片（510）顶部中心通过微结构安装板（509）粘接安装有MEMS微结构（508），在十字弹簧片（510）底部中心通过陶瓷片（511）粘接安装有板电极（512）；在第二手动三轴位移台（502）的Z轴溜板上安装有第二连接板（504），在第二连接板（504）底部中心通孔内通过紧定螺钉（506）安装有陶瓷管（507），在陶瓷管（507）内套装连接有针电极（505）；所述针电极（505）和板电极（512）分别与高压电容（10）的两极电联接，在针电极（505）和高压电容（10）之间设有第一开关（9）控制通断；所述高压电容（10）的两极分别电联接至高压电源（12）的正负极，并通过第二开关（11）控制通断；在筒体（1）的顶部圆周均布的安装有四个光加热单元（4），每个光加热单元（4）依次通过光加热单元安装板（3）、销轴（7）、固定板（2）与筒体（1）相连接，光加热单元（4）可绕销轴（7）转动，在光加热单元安装板（3）上与销轴（7）套装部的螺纹孔内有紧定螺钉（8）；所述光加热单元（4）包括螺纹连接的前套筒（402）和后套筒（401），在后套筒（401）尾部中心孔内安装有平行光源（412）；在前套筒（402）内部设有台阶孔，在前套筒（402）前端设有第一遮光板（408）、第二遮光板（409）、第三遮光板（410）和第四遮光板（411），四个遮光板在前套筒（402）前端面上的投影呈圆周均布，其中第一遮光板（408）和第四遮光板（411）对称布置在靠近前套筒（402）前端处，第二遮光板（409）和第三遮光板（410）对称布置在远离前套筒（402）前端处；每个遮光板上均安装有导向轴（406），导向轴（406）穿过前套筒（402）前端面的突出部并连接在推板（405）上，在推板（405）中心处设有调节旋钮（404），调节旋钮穿（404）过推板（405）的中心孔并螺纹连接在前套筒（402）前端面的突出部上，在推板（405）和前套筒（402）前端面的突出部之间设有复位弹簧（407），复位弹簧（407）套装在调节旋钮（404）上，用于调节遮光板的位置。