[发明专利]一种瞬态电压抑制器及其制作方法

摘要

本发明提供一种瞬态电压抑制器及其制作方法，包括：提供第一导电类型的衬底以及第二导电类型的外延层；在所述外延层内形成第一导电类型的第一埋层和第二埋层；形成贯穿所述外延层延伸至所述衬底的第一介质层；形成从所述外延层上表面延伸至所述外延层中的第二介质层和第三介质层；在所述第一埋层和所述第二埋层的上侧形成第二导电类型的第一注入区；在所述第一沟槽分别与所述第二沟槽及所述第三沟槽之间形成第二导电类型的第二注入区；在所述第二沟槽和所述第三沟槽之间形成第一导电类型的第三注入区；在所述外延层上表面形成第一金属层和第二金属层；分别形成正面电极和背面电极，将浪涌电压钳位在较低水平，同时又具有超低电容。

主权项

1.一种瞬态电压抑制器，其特征在于，包括：第一导电类型的衬底；第二导电类型的外延层，生长于所述衬底上表面；第一导电类型的第一埋层和第二埋层，所述第一埋层和所述第二埋层分别位于所述外延层的两侧；第一介质层，分别贯穿所述外延层并延伸至所述衬底，并分别形成于所述第一埋层和所述第二埋层的两侧；第二介质层和第三介质层，分别从所述外延层上表面延伸至所述外延层中；第二导电类型的第一注入区，分别形成于所述第一埋层和所述第二埋层的上侧；第二导电类型的第二注入区，分别形成于所述第一介质层与所述第二介质层之间，以及所述第一介质层和所述第三介质层之间；第一导电类型的第三注入区，形成于所述第二介质层和所述第三介质层之间；第一金属层和第二金属层，分别形成于所述外延层上表面并与所述第一注入区和所述第二注入区连接；第一电极，形成于所述外延层上表面并与所述第三注入区连接；第二电极，形成于所述衬底下表面并与所述衬底连接。