[发明专利]一种PN结器件杂质浓度/浓度梯度自动测量系统及方法

摘要

一种PN结器件杂质浓度/浓度梯度自动测量系统及方法，该系统包括：给进机构，用于自动传送PN结器件到样品测试台；固定片，用于固定PN结器件的两端并保持和PN结器件电极之间良好的电学接触；测量模块连接锁相放大器，锁相放大器连接计算机。测量模块通过采集回路标准电容的微弱分压信号，换算为PN结器件的结电容并可实时显示出PN结器件偏置电压‑结电容的关系曲线；对曲线可进行自动参数变换及拟合；并根据所拟合直线结果的相关系数大小来判断PN结的类型；由其类型对应的物理模型换算PN结器件的杂质浓度分布系数或浓度梯度系数。本发明可方便地进行大量PN结试样的杂质浓度/浓度梯度的自动检测，并对同一批次产品中的器件的类别差异进行统计。

主权项

1.一种PN结器件杂质浓度/浓度梯度自动测量系统，其特征在于：该系统包括给进机构、样品测试台(2)、测量模块(3)、锁相放大器(4)、计算机(5)；所述给进机构的驱动器(6)连接计算机(5)，给进机构用于自动传送PN结器件到样品测试台(2)；所述样品测试台(2)连接测量模块(3)，样品测试台(2)上设有固定压片(7)，用于固定PN结器件的两端并和PN结器件电极之间电学接触；所述样品测试台(2)连接测量模块(3)；所述测量模块(3)连接锁相放大器(4)，所述锁相放大器(4)连接计算机(5)。