[发明专利]一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201811524509.0 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109371360A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 史旭;唐智 | 申请（专利权）人： | 纳峰真空镀膜（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/20;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人： | 刘伍堂 |
| 地址： | 201700 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及镀膜技术领域，具体地说是一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制备方法。一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制备方法，包括基材、金属底层、TAC薄膜层，其特征在于：具体步骤如下：S1：在基材的表面使用单极脉冲磁控溅射镀膜技术镀一层导电的金属底层；S2：在金属底层的表面运用FCVA镀膜技术镀一层高耐磨性的TAC薄膜层。同现有技术相比，使用常温下的FCVA技术，在非耐高温基材上镀一层类金刚石涂层，达到高耐磨的性能。FCVA技术可以在室温下沉积，又具有高耐磨性等特点，所以将其应用到非耐高温的产品上，可以大大提升产品的耐磨性。 | ||
| 搜索关键词： | 类金刚石涂层 低温材料 金属底层 耐磨 制备 耐磨性 镀膜技术 薄膜层 应用 基材 磁控溅射镀膜 非耐高温基材 单极脉冲 高耐磨性 常温下 高耐磨 耐高温 导电 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种应用于低温材料上的耐磨类金刚石涂层的制备方法，包括基材、金属底层、TAC薄膜层，其特征在于：具体步骤如下：S1：在基材的表面使用单极脉冲磁控溅射镀膜技术镀一层导电的金属底层；S2：在金属底层的表面运用FCVA镀膜技术镀一层高耐磨性的TAC薄膜层。
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