[发明专利]一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵有效
| 申请号： | 201811522318.0 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109360780B | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 王晓冬;宁久鑫;黄海龙;田野 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | H01J41/12 | 分类号： | H01J41/12;H01J37/18 |
| 代理公司： | 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 | 代理人： | 李运萍 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，包括壳体，壳体顶部设置有进气口，壳体的左右两侧分别安装有磁铁，阳极筒阵列绝缘地安装于壳体内部，且阳极筒阵列两侧分别设置有阴极板，高压电极与进气口固定装配，其正电位与阳极筒阵列相连，零电位分别与两个阴极板相连，阴极板与阳极筒阵列之间构成用于抽除气体的腔室，阳极筒阵列由多组阳极筒组成，距离进气口越近的阳极筒，半径越大，高度越低，阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越大，距离进气口越远的阳极筒，半径越小，高度越高，阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越小；本发明可以大幅度提高溅射离子泵中单位体积内的抽气速率，且在超高真空环境下也能保持较高抽速工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 阳极 阵列 溅射 离子 | ||
【主权项】：
1.一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，包括壳体、高压电极、阴极板和阳极筒阵列，所述壳体顶部设置有进气口，壳体的左右两侧分别安装有磁铁，所述阳极筒阵列绝缘地安装于壳体内部，且阳极筒阵列两侧分别设置有阴极板，所述高压电极与进气口固定装配，其正电位与阳极筒阵列相连，零电位分别与两个阴极板相连，阴极板与阳极筒阵列之间构成用于抽除气体的腔室，所述阳极筒阵列由多组阳极筒组成，距离进气口越近的阳极筒，半径越大，高度越低，阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越大，距离进气口越远的阳极筒，半径越小，高度越高，阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越小。
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