[发明专利]高压二极管及其制造方法

摘要

本发明提供一种高压二极管的制造方法，包括：提供第一导电类型的第一衬底和第二导电类型的第二衬底；自第一衬底的上表面向上延伸形成第二导电类型的第一外延层，自第二衬底的下表面向上延伸形成间隔设置的第一导电类型的第一子掺杂区；通过键合工艺将第二衬底的下表面与第一外延层的上表面相连接；自第二衬底的上表面向下延伸形成第一导电类型的第二子掺杂区，第一子掺杂区与第二子掺杂区共同形成第一掺杂区；自第二衬底的上表面向上延伸形成第二导电类型的第二外延层；自第二外延层的上表面向下延伸形成第二导电类型的第二掺杂区；在第二掺杂区的上表面形成正面金属层；在第一衬底的下表面形成背面金属层。本发明还提供一种高压二极管。

主权项

1.一种高压二极管的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S10：提供一个第一导电类型的第一衬底和一个第二导电类型的第二衬底；步骤S20：自所述第一衬底的上表面向上延伸形成第二导电类型的第一外延层，自所述第二衬底的下表面向上延伸形成间隔设置的第一导电类型的第一子掺杂区；步骤S30：通过键合工艺将所述第二衬底的下表面与所述第一外延层的上表面相连接；步骤S40：自所述第二衬底的上表面向下延伸形成与所述第一子掺杂区对应连通的第一导电类型的第二子掺杂区，所述第一子掺杂区与所述第二子掺杂区共同形成第一掺杂区；步骤S50：自所述第二衬底的上表面向上延伸形成第二导电类型的第二外延层；步骤S60：自所述第二外延层的上表面向下延伸形成第二导电类型的第二掺杂区；步骤S70：在所述第二掺杂区的上表面形成正面金属层；在所述第一衬底的下表面形成背面金属层。