[发明专利]一种用于真空设备内表面除气的装置

摘要

本发明提供另一种用于真空设备内表面除气的装置，只需将空心阴极悬挂在待除气真空设备的内部，采用供气装置向待除气真空设备内部充入惰性气体，则惰性气体在空心阴极放电的作用下，引发引发惰性气体的电子雪崩现象，由此产生的气体电子和气体离子将蔓延至整个待除气真空设备内部，轰击待除气真空设备内壁上吸附的气体和杂质，从而通过这种气体放电方式能够有效降低待除气真空设备的真空度；由此可见，本发明既能有效的避免破坏原有真空设备的内部布局，又可以通过调节空心阴极在真空室中的放电位置，保证待除气真空设备内壁上吸附气体清洗的均匀性，适用大型真空、真空度要求较高的真空设备内表面除气。

主权项

1.一种用于真空设备内表面除气的装置，其特征在于，包括供气装置与空心阴极；所述供气装置用于为待除气真空设备的内部充入惰性气体；所述空心阴极安装在待除气真空设备内部，用于持续发射电子；所述惰性气体在所述空心阴极发射的电子的作用下，引发惰性气体的电子雪崩现象，从而产生轰击待除气真空设备内壁的气体电子和气体离子，释放待除气真空设备内壁上的杂质和气体，实现除气。