[发明专利]一种柔性MEMS器件V型梁结构力学动态模型分析方法有效
| 申请号： | 201811502748.6 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN109635423B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 韩磊;于洋;吴虹剑;田蕾;吝晓楠 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性MEMS器件力学动态模型分析方法，建立柔性MEMS器件的梁结构与柔性基板之间的双变形耦合模型；建立柔性MEMS器件梁结构的驱动参数与驱动信号之间的关系；检测柔性基板发生形变时梁结构的形变参数值；根据S03中检测到的梁结构的形变参数值和S01中的双变形耦合模型，得到梁结构的驱动参数修正值；使用梁结构的驱动参数修正值修正梁结构的驱动参数，得到梁结构的驱动参数精确值；根据S02中建立的关系，得到驱动信号的精确值。根据S07中梁结构不考虑阻尼作用的动态方程，得到梁结构的开关时间，分析弯曲变形对梁结构力学动态模型的影响。本专利提供了一种基于复杂环境空间，包含梁结构与柔性基板双变形模型的MEMS器件力学动态模型分析方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 mems 器件 结构 力学 动态 模型 分析 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性MEMS器件V型梁结构力学动态模型分析方法，包括以下步骤：S01：建立柔性MEMS器件的V型梁结构与柔性基板之间的双变形耦合模型；S02：建立柔性MEMS器件V型梁结构的驱动参数与驱动信号之间的关系；S03：检测柔性基板发生形变时V型梁结构的形变参数值；S04：根据S03中检测到的V型梁结构的形变参数值和S01中的双变形耦合模型，得到梁结构的驱动参数修正值；S05：使用梁结构的驱动参数修正值修正梁结构的驱动参数，得到梁结构的驱动参数精确值；S06：根据S02中建立的关系，得到驱动信号的精确值。
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