[发明专利]一种可驱动型神经光电极阵列的制备方法有效
| 申请号： | 201811500788.7 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN109655084B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;王明浩 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种可驱动型神经光电极阵列的制备方法，包括：S1：使用微加工技术制备集成SU‑8或氮氧化硅光波导的硅基微电极；S2：使用各向异性导电胶膜ACF作为焊料实现LD或LED与所述硅基微电极的键合，得到LD/LED耦合光波导电极；S3：将LD/LED耦合光波导电极进行堆叠实现光电极的三维集成，得到三维光电极阵列；S4：通过3D打印技术制备了一个微型驱动，将三维光电极阵列与微型驱动进行集成，通过调节微型驱动上的驱动螺杆实现光电极阵列在动物体内植入后的位置调整能力。本发明可以大大降低器件的集成成本，节省器件的工艺流程并提高工艺的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 神经 电极 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种可驱动型神经光电极阵列的制备方法，其特征在于，包括：S1：使用微加工技术制备集成SU‑8或氮氧化硅光波导的硅基微电极；S2：使用各向异性导电胶膜ACF作为焊料实现LD或LED与所述硅基微电极的键合，得到LD/LED耦合光波导电极；S3：将LD/LED耦合光波导电极进行堆叠实现光电极的三维集成，得到三维光电极阵列；S4：通过3D打印技术制备了一个微型驱动，将三维光电极阵列与微型驱动进行集成，通过调节微型驱动上的驱动螺杆实现光电极阵列在动物体内植入后的位置调整能力。
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