[发明专利]一种材料表面处理设备及方法

摘要

本发明公开一种表面处理设备及方法，设备包括依次设置的进料装置、超声波清洗装置、真空干燥装置、真空等离子清洗装置、出料装置；所述超声波清洗装置包括用于容置碳氢清洗剂的超声波清洗槽，并设置有第一出口和进口，且所述第一出口和进口连接第一分离循环系统，所述第一分离循环系统用于对所述碳氢清洗剂进行蒸馏再生；所述第一分离循环系统包括依次连接的第一分离槽、碳氢清洗剂蒸发装置、碳氢清洗剂冷凝装置。利用超声波碳氢洗替代超声波水洗，对碳氢清洗剂进行循环利用，并将碳氢清洗、真空干燥以及真空等离子清洗这三个步骤按顺序结合在一起，实现了废气废水的零排放，绿色环保。