[发明专利]一种光学外差法腔衰荡光谱测量装置及方法有效
| 申请号： | 201811493376.5 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109580541B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 颜昌翔;宋绍漫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/39 | 分类号： | G01N21/39 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种光学外差法腔衰荡光谱测量装置及方法。该测量装置包括用于产生激光光束的激光光源，调制光路机构，用于接收经过调制光路机构调制后的激光光束并将激光光束发生干涉叠加的无源谐振腔，用于接收所述干涉叠加后的激光光束并产生电信号的光学外差探测机构，接收所述电信号并判断所述电信号与预设阈值的关系的数据处理机构，若电信号大于所述预设阈值时，数据处理机构发出关断所述激光光源的指令并通过数据采集电路采集、描绘衰荡曲线及计算待测痕量物质浓度。该测量装置及方法能够提高测量精度、操作简单且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 外差 法腔衰荡 光谱 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学外差法腔衰荡光谱测量装置，其特征在于，所述测量装置包括：激光光源，用于产生激光光束的光源；调制光路机构，用于调制所述激光光束；无源谐振腔，用于接收经过所述调制光路机构调制后的激光光束，并将所述激光光束在所述无源谐振腔发生干涉叠加；光学外差探测机构，包括分束镜、位于所述分束镜的第一路光路上的反射镜，位于所述分束镜的第二路光路上的第一聚焦镜和转镜，位于所述分束镜的第二路光路反方向上的可变光阑、线栅偏振片、第二聚焦镜和光电探测器；所述光学外差探测机构接收所述干涉叠加后的激光光束并产生电信号；数据处理机构，接收所述电信号并判断所述电信号与预设阈值的关系，若电信号大于所述预设阈值时，数据处理机构发出关断所述激光光源的指令并通过数据采集电路采集、描绘衰荡曲线及计算待测痕量物质浓度。
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