[发明专利]一种基于等离子体热平衡法制备金刚石/石墨复合结构耐磨减摩层的方法有效
| 申请号： | 201811487909.9 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109267000B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 闫牧夫;张雁祥;闫扶摇;姚佳伟;陈宝凤;杨阳 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C8/38 | 分类号： | C23C8/38;C23C8/02;C23C8/32;C23C8/34 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： |
一种基于等离子体热平衡法制备金刚石/石墨复合结构耐磨减摩层的方法，涉及一种制备耐磨减摩层的方法。目的是固体润滑碳膜制备工艺需要高电压和高真空环境，对设备的要求较高的问题。方法：铁基合金表面预处理，然后在铁基合金表面制备含有Fe(M) |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 等离子体 平衡 法制 金刚石 石墨 复合 结构 耐磨 减摩层 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于等离子体热平衡法制备金刚石/石墨复合结构耐磨减摩层的方法，其特征在于：该方法按照以下步骤进行：一、预处理：采用水砂纸将铁基合金表面打磨光亮，然后清洗打磨后的铁基合金表面，得到预处理的铁基合金；二、渗层形成：对步骤一得到的预处理的铁基合金表面进行渗碳处理或碳氮共渗处理，在铁基合金表面得到Fe(M)3C相；所述渗碳处理时采用的渗碳工艺为气体渗碳或等离子体渗碳；三、金刚石/石墨复合结构耐磨减摩层的生长：将步骤二处理后的铁基合金转移至等离子体渗碳炉内，通入混合气，对含有Fe(M)3C相的铁基合金表面进行等离子体轰击，在Fe(M)3C相表面得到金刚石和石墨复合结构碳层，即完成；所述等离子体轰击的电压大于400V；所述的等离子体轰击的温度为250～550℃；所述混合气由碳源气体和氢气构成，或由碳源气体和氩气构成。
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