[发明专利]一种磁浮气浮综合作用二维扫描测头

摘要

本发明公开了一种磁浮气浮综合作用二维扫描测头，该测头由测头座、镜头组、CCD组件、测量靶标、轴套、气路接头、大径喷嘴、磁浮组、气路接头、安装磁片、测针、测针座、定位钢球组、前压板、小径喷嘴、后压板及悬浮板等组成。本发明不依赖于自感互感的检测原理，而是依靠机械传动原理以及影像测量完成检测，不仅检测灵敏度高而且抗干扰能力强，结构简单，容易实现，可以实现较大范围内测头位置变化量的测量；而且测针座与气浮板之间的钢球咬合安装、两路气路孔为气浮板上下两表面提供浮力保证了运动的平稳性、测量的精确性，并且通过气浮板边沿及底座上与气浮板相对表面的不同直径圆周上均布相等数量的小磁块之间的斥力作用实现了测量的连续性。

主权项

1.一种磁浮气浮综合作用二维扫描测头，其特征在于，包括测针(13)、测针座(14)以及具有中空腔体且一端开口的测头座(1)；其中，测头座(1)内的底部安装有镜头组(2)和CCD组件(3)，测头座(1)内的开口端处由内向外依次套装有轴套(5)和悬浮板(21)，轴套(5)与测头座(1)内壁构成测头的右端气路，测头座(1)外壁的周向上安装有与右端气路进气口连通的右端气路接头(6)，轴套(5)的左端面周向上安装有若干与右端气路出气口连通的大径喷嘴(7)，经过滤的纯净空气能够由右端气路接头(6)进入轴套(5)，由大径喷嘴(7)喷出，给悬浮板(21)提供一个向下的推力；悬浮板(21)的右端面上安装有测量靶标(4)，CCD组件(3)用于实时采集测量靶标(4)的图像，并分析其图形位置坐标；悬浮板(21)的外壁周向上与测头座(1)内壁之间设置有磁浮组(8)；测头座(1)的开口端端面上安装有套装在悬浮板(21)上的前压板(16)，前压板(16)与悬浮板(21)之间还依次套装有密封垫(17)和后压板(19)，前压板(16)内开设有左端气路，前压板(16)的周向上安装有与左端气路进气口连通的左端气路接头(10)，后压板(19)的右端面周向上安装有若干与左端气路出气口连通的小径喷嘴(18)，经过滤的纯净空气能够由左端气路接头(10)进入前压板(16)，经过密封垫(17)，由后压板(19)上安装的小径喷嘴(18)喷出，给悬浮板(21)提供一个向上的推力；测针(13)安装在测针座(14)上，测针座(14)与悬浮板(21)的左端面之间配备有安装磁片(12)和定位钢球组(15)。